本實(shí)驗(yàn)裝置主要由其空系統(tǒng)、微波激勵(lì)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、基片溫控加熱系統(tǒng)以及循環(huán)水冶卻系統(tǒng)等組成。微波源產(chǎn)生2.45GHz的微波，沿著波導(dǎo)管傳輸，經(jīng)環(huán)行器、四釘阻抗調(diào)配器等裝置，到達(dá)諧振腔反應(yīng)室，氣體在微波的激勵(lì)下，獲得
很大的能量，在反應(yīng)室的工作平臺(tái)處，形成球狀的等離子體。本裝置適合高校近代物理、材料物理等專(zhuān)業(yè)作為等離子體研究與技術(shù)應(yīng)用方面實(shí)驗(yàn)。

主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
☆HFPCVD法在基片上制備各種功能薄膜材料;
☆MWPCVD法多壁碳納米管陣列的化學(xué)氣相沉積制備;
☆浮動(dòng)催化裂解法制備單壁破納米管;
☆PECVD制備一維納米結(jié)構(gòu);
☆MWP化學(xué)合成。

儀器主要配置及技術(shù)參數(shù)

☆微波等離子體刻蝕精度達(dá)到亞徽米級(jí)。制備各種功能薄膜材料的速率較快;
☆鍍膜沉積室：Φ45mm×300mm石英玻璃，上進(jìn)氣、下置抽氣系統(tǒng)，設(shè)有垂廈交叉的兩個(gè)方向的透明觀察窗，可直觀觀家等離子體的放電特性。
☆微波源功率:0~900W，連續(xù)可調(diào)輸出。
☆真空系統(tǒng)：機(jī)械式真空泵，交流市電220V，抽速：4L/s，極限氣壓：≤0.6Pa;
☆不銹鋼冷阱，高真空蝶閥，GI-40高真空蝶閥。
☆微波傳輸及微波諧振腔;配有環(huán)行器、水負(fù)載、三螺釘阻抗調(diào)配器，短路活塞，保證微波源安全工作。微波反射檢波測(cè)量系統(tǒng)，保證等離子體充分吸收微波的能量
☆供氣系統(tǒng):四路獨(dú)立供氣管路，流量分別由轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制;
☆真空測(cè)量:數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)，兩路熱偶規(guī)，一路電離規(guī)：1.0x10³Pa~1.0x10^-5Pa。
☆反應(yīng)室由石英玻璃制作，工作氣壓:幾帕~十千帕;直徑
Φ44mm:極限真空，6×10-¹P。
☆封閉式內(nèi)循環(huán)水冷溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，連續(xù)工作系統(tǒng)溫度≤30℃
☆整機(jī)配有水流報(bào)警系統(tǒng)，在水壓不夠或斷水時(shí)報(bào)警，并切斷微波電源等。
☆基片溫度范圍:200~1050℃，用熱電偶測(cè)溫，采用PID控溫。
☆設(shè)備控制:供電AC220V/50Hz單相三線制供電，功率：3KW。